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蘇州TC4鈦合金材料的組成為Ti-6Al-4V，屬于(a+b)型鈦合金，具有良好的綜合力學(xué)機(jī)械性能。蘇州TC4鈦合金的強(qiáng)度sb=1.012MPa，密度g=4.4*103，比強(qiáng)度sb/g=23.5，而合金鋼的比強(qiáng)度sb/g小于18。 

鈦合金熱導(dǎo)率低。 鈦合金的熱導(dǎo)率為鐵的1/5、鋁的1/10，TC4的熱導(dǎo)率l=7.955W/m·K。

鈦合金的彈性模量較低。TC4的彈性模量E=110GPa，約為鋼的1/2，故鈦合金加工時(shí)容易產(chǎn)生變形。 

TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-5Al-2.5Sn)鈦合金，采用兩種注入方案進(jìn)行表面改性，試驗(yàn)表明，鈦合金經(jīng)離子注入后，提高了顯微硬度，顯著地降低了滑動(dòng)摩擦系數(shù)，有效地提高了耐磨性.為探明其改性機(jī)理，對(duì)注入與未注入樣品進(jìn)行了X射線光電子能譜(XPS)分析，獲得滿意的結(jié)果. 

1 試件制備及注入條件 

1.1 試件制備 

選航空用的TC4、TA7鈦合金，試件制成圓盤狀，尺寸為40*5mm，所有試件表面均拋光至鏡面. 

1.2 離子注入條件

兩種鈦合金都分別采用兩種注入方案： 

① 在TC4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti，Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中，同時(shí)用(N+ +N+2)進(jìn)行動(dòng)態(tài)反沖注入，束流能量為50keV，束流密度為45μA/cm2，劑量為7*1017/cm2，靶室真空度為1.33*10-2Pa； 

② 在①的基礎(chǔ)上，再注入C+，束流能量為40keV，劑量為3*1017/cm2.

2 硬度測(cè)量 

用HXD-1000數(shù)字式顯微硬度計(jì)測(cè)量了注入與未注入試件的顯微硬度，測(cè)量載荷為4.9×10-2N，測(cè)量結(jié)果列于表1. 

表1 顯微硬度測(cè)量結(jié)果 

材料 表面狀態(tài) 顯微硬度/MPa 硬度提高倍數(shù) 

未注入 2690 0 

TC4 注入(N+ +N+2) 6399 1.38 

注入(N+ +N+2)+C+ 3436 0.28 

未注入 3133 0 

TA7 注入(N+ +N+2) 4276 0.36 

注入(N+ +N+2)+C+ 4073 0.30 

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